主要附件：进口的空气压缩机（带空气过滤器）；功能：进口循环冷却水系统。

1.Scott雾室正交雾化器进样系统、40MHz自激式固态高频发生器、等离子体双向观测系统精密度：1ppm；2.混合多元素溶液：CV<0.5%；3.稳定性：1小时RSD<1%，4小时RSD<2%；4.分辨率：在200nm处；5.光学分辨率：0.007nm；6.像素分辨率：?0.003nm。